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Product classification
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產品名稱：MS/MCS 系列 耐腐蝕質量流量計
發布時間：2025-12-17
產品型號：MS/MCS型
產品特點：MS/MCS 系列 耐腐蝕質量流量計可精、快速測量腐蝕性氣 體(如：NH3、H2S、SiH4 等)的質量流量、體積流量、壓力和 溫度。MCS 系列質量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥 還可精控制腐蝕性過程氣體的質量流量、體積流量和壓力?？蓽y量 130 多種氣體的質量和體積流量，其中包括 32 種腐蝕性氣體。
MS/MCS 系列 耐腐蝕質量流量計產品介紹：
MS/MCS 系列質量流量計&質量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補償了工藝溫度和壓力變化對質量流量及體積流量產生的影響。 所有 Alicat 質量流量計&質量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準 證書。
MS/MCS 系列質量流量計/質量流量控制器采用全不銹鋼結構及彈性密封材料，內置 130/128 種標準氣體供 選擇。集成式多功能數字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設定值輸入及 PID 閥門 調節。MS/MCS 系列設備支持標準的模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有便攜式(MBS 系 列)質量流量計可選。
為腐蝕性過程氣體應用的首肯，如：半導體行業 等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及 100:1 量程可調比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質量流量控制器 便可取代多臺設備的功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應時間很大程度優 化了氣體控制過程。
MS/MCS 質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。
可測量 130 多種氣體的質量和體積流量，其中包括 32 種腐蝕性氣體。
技術參數：
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
精度(調零后標準條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調零后標準條件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備
精度(雙向流量型號)(調零后標準條件下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負滿量程到正滿量程
重復性: ±0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm
工作范圍 / 量程可調比: 1% ~ 100 F.S / 100:1
很大可測流量: 128% F.S
典型響應時間 :10 毫秒(可調整)
啟動預熱時間 :< 1 秒
標準工況 (STP): 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
工作溫度: ?10 ~ +50 oC
工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ～ 100
內部很大工作壓力(靜壓) :145 psig
設備允許通過的很大瞬時壓差 (入口壓力－出口壓力): 75 psid
很限壓力 175 psig
對安裝方式/方向的要求: 無
防護等級: IP40